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無油真空泵是一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵。它具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。無油真空泵的定期維修保養可以減少和避免非計劃停機。下面主要介紹無油真空泵在使用過程中要如何進行維護和保養。

關于無油真空泵的使用維護及保養

1、應具有充分良好的通風條件。

2、無灰塵及臟物的清潔場所。

3、無水、油等液體會降落到無油真空泵上。

4、不將機器直接暴露在陽光里。

5、要具有足夠的周圍空間能便于無油真空泵的檢查，維護和裝拆。

6、真空泵需要安裝在平坦的平面上。

7、需要確保無油真空泵不因基礎不牢固而引起震動。

8、與泵連接管道不宜過長和小于泵進口徑，影響抽速，同是注意檢查真空連接管道有否漏氣。

9、設備損壞往往是從局部或某個零件開始，所以要定期檢查泵體內表面磨損情況、各部件磨損情況，測量并調整各部件配合間隙、各部位螺栓緊固情況、軸承。

10、接電線時，應注意電機銘牌上的規定接線要求。三相電泵要注意電機旋轉方向應與泵上的標示箭頭方向一致。

日本堅山KASHIYAMA工業株式會社，多年來致力于真空技術的研究，不斷開發進取，在半導體制造領域和高科技行業中擁有的信譽。尤其在半導體制造領域，獲得了客戶的高度評價與信賴。

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