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真空泵：用來獲得真空的器械。
根據抽除氣體的方式：一類是氣體傳輸泵，另一類氣體捕集泵。
氣體傳輸泵：將氣體直接從容器中抽走，使氣體分子密度降低，獲得真空。如水環泵，油封式真空泵，
羅茨泵，干泵等。
氣體捕集泵：使氣體分子留在容器類由氣相變為吸附相或固相，使氣體分子密度降低，獲得真空。如吸
附泵，冷阱等。
根據泵腔內無油或其他工作介質，干式真空泵，簡稱干泵，凍干機上常用干式螺桿真空泵和爪式真空泵。
原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:
*泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成
本。
*由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。
干泵優點：
*泵腔內無油或其他液體介質，對被抽容器內的物品無任何污染。
*排氣口無油霧，不污染環境。
*對可凝性氣體，如酒精，水汽有較強的抽除能力。
*不需要頻繁加換油，維護成本低。
干泵缺點：
*價格貴。
*需要額外提供的工藝氣體和冷卻水。
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