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干式真空泵維修處理方法：
| 故障 | 造成原因 | 處理辦法 |
| 真空度低 | 過濾網堵塞 | 清洗或更換過濾網 |
| 螺桿間隙過大 | 檢查螺桿“E”間隙并重新調整 | |
| 濾網堵塞 | 清洗或更換濾網 | |
| 電機過載 | 吸入異物 | 檢查螺桿“E”間隙并重新調整，如果螺桿或泵腔損壞，更換螺桿或泵腔。 |
| 進口壓力顯著提高 | 檢查進出口壓力的異常處 | |
| 螺桿卡死 | 重新調整螺桿的“E”間隙 | |
| 螺桿和泵腔干涉 | 重新調整“D”間隙 | |
| 噴嘴或管道堵塞 | 清洗排水噴嘴和管道 | |
| 前端有過多的潤滑油 | 檢查油位，若有需要調整油位 | |
| 過熱 | 進口溫度過高 | 降低進口溫度 |
| 壓縮比太高 | 檢查進氣口排氣口的不同壓力 | |
| 螺桿和泵腔干涉 | 檢查造成干涉的原因 | |
| 冷卻液無法流通 | 清潔冷卻液線路和冷卻套 | |
| 噴嘴或管道堵塞 | 清洗排水噴嘴和管道 | |
| 振動 | 同步齒輪和螺桿位置不正確 | 重新配置同步齒輪和螺桿的位置，同步齒輪的伸出量應該在0.03mm之內。 |
| 裝配不正確 | 重新裝配 | |
| 進口壓力非正常上升 | 檢查原因所在 | |
| 軸承或齒輪損壞 | 由于過載或不正確潤滑導致齒輪損壞 | 更換同步齒輪 |
| 不正確的潤滑 | 更換潤滑油 | |
| 油位低 | 把潤滑油加到正確的位置 |
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