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半導體溫控裝置ChillerATS  ESL-60維修服務

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半導體溫控裝置ChillerATS  ESL-60維修服務

半導體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制，主要由熱交換器、循環泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環裝置，屬于生產過程中的溫控設備。在常規PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術，并采用變頻控制及兩級閉環節能控制，顯著地提高了Chiller的穩定性、控制精度和響應速度。

適用于多個行業，包括：

1. 半導體制造：為半導體制造過程中的各種設備提供冷卻和溫度控制。

2. 電子行業：用于電子產品的生產過程中，如電子元件的制造、電路板的焊接等。

3. 精密加工：如數控機床、坐標鏜床等精密機床主軸潤滑和液壓系統傳動媒的冷卻。

4. 化工、食品、醫藥：用于化學反應、食品加工、藥物生產等過程中的冷卻和溫度控制。

應用于半導體行業蝕刻裝置，CMP（工藝機械拋光）， 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制，高效節能
兩級閉環節能控制

應用領域

激光加工、印刷設備、清潔設備、焊接設備、高分析儀、LCD制造設備、模具溫調、高頻感應加熱設備、X射線（數字式）設備等

半導體溫控裝置ChillerATS  ESL-60維修服務

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小